闵行石墨盘专用真空烤盘炉，可靠的石墨盘专用真空烤盘炉，合肥真萍电子倾力推荐， 合肥真萍电子科技有限公司坐落于宿松路与清华路启迪科技城创客空间A栋1006-1007室，于2010-04-14创办，自成立以来就致力于石墨盘专用真空烤盘炉的生产与经营销售。公司拥有一大批可靠技术人才，充分满足广大需求群体对产品的需求，为客户供应市场上好的石墨盘专用真空烤盘炉。

闵行石墨盘专用真空烤盘炉，.产品介绍 真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。 二、设计特点 1、后门设计热风电机 2、降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向 3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的 三、技术指标 1、使用温度：1450℃；最高温度：1500℃； 2、绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸； 4、加热元件：石墨加热棒； 5、冷却方式：气冷 + 循环风冷降温； 6、控温稳定度：±2℃，具有PID参数自整定功能； 7、炉膛温度均匀度：±5℃（恒温1500℃）； 8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%； 9、真空: 10-3torr级； 10、抽气速率：空载下，30min达到10-2torr 11、升温功率：170kW； 12、升温速率：15℃/min（空载）； 13、降温速率：1450℃至80℃,240分钟 14、腔体尺寸：1000*1000*1000mm（宽*深*高） *技术细节变动之处，恕不另行通知，具体设备参数以咨询结果为准。

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