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快捷的绝缘耐高温耐磨氧化锆陶瓷环-具有口碑的氧化锆陶瓷环,别错过砾石实业

供应商:东莞市砾石实业投资有限公司【公司商铺】

所在地:广东省   东莞市

联系人:曹先生

价格:面议

品牌:砾石

发布时间:2024-09-11

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【产品详情】快捷的绝缘耐高温耐磨氧化锆陶瓷环-具有口碑的氧化锆陶瓷环,别错过砾石实业

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在纯贸易业中,砾石实业凭着以“既定的方针、远大的目标、成熟的理念、出色的文化”的经营宗旨,将氧化锆陶瓷环广销于全国各地,并出口到欧美。本公司一贯坚持薄利多销、客户至上的宗旨,不断开拓创新,以质取胜,服务周到,以誉满纯贸易业。

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靶材的主要性能要求

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

砾石实业作为一家综合型氧化锆陶瓷环贸易公司,提供可靠进出口代理服务。公司设立于2009-08-05,坐落在东城街道涡岭工业路8号419室,目前主要从事氧化锆陶瓷环供应。公司与多家客户建立了长期稳定的工作合作关系,是广东省的企业,在贸易方面具有深厚的积累和行业应用经验。

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